用于热工艺的立式炉的主要控制系统分为五部分（）、（）、气体分配系统、尾气系统和（）。_集成电路工艺原理_全学科试题题库

当前学科：集成电路工艺原理

题目：填空题
用于热工艺的立式炉的主要控制系统分为五部分（）、（）、气体分配系统、尾气系统和（）。
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