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当前学科：集成电路工艺原理
题目：
判断题
干法刻蚀是亚微米尺寸下刻蚀器件的最主要方法，湿法腐蚀一般只是用在尺寸较大的情况下刻蚀器件，例如大于3微米。
A . 正确
B . 错误
答案：
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