湿氧氧化_集成电路工艺原理_全学科试题题库

当前学科：集成电路工艺原理

题目：名词解释
湿氧氧化
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A物质和B物质在反应器中发生反应，生成C物质和D物质。反应完成后直接流向分馏塔进行分馏，已知A和B的混合物以1000㎏/h的流率进入反应器并迅速发生反应，其中A物质占25%（质量分率）。A和B的反应转化率为80%，反应后混合液中C占50%。C和D在分馏塔中进行分离，C物质中的90%和A物质从塔顶输出，塔顶产品含C95%；D和B物质全部从塔底输出，塔底产品含D80%。试计算在塔顶和底部得到的各物质的量。

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