当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
  • 题目: 单选
    ()就是用功率密度很高的激光束照射半导体表面,使其中离子注入层在极短的时间内达到高温,消除损伤。

      A . 热退火
      B . 激光退火
      C . 连续激光退火
      D . 脉冲激光退火

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