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当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
题目:
单选
()就是用功率密度很高的激光束照射半导体表面,使其中离子注入层在极短的时间内达到高温,消除损伤。
A . 热退火
B . 激光退火
C . 连续激光退火
D . 脉冲激光退火
答案:
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