比较投影掩模版和光学掩模版有何异同？说明采用什么技术形成投影掩模版上的图形？_集成电路工艺原理_全学科试题题库

当前学科：集成电路工艺原理

题目：问答题
比较投影掩模版和光学掩模版有何异同？说明采用什么技术形成投影掩模版上的图形？
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