CZ直拉法生长单晶硅是把（）变为（）并且（）的固体硅锭。_集成电路工艺原理_全学科试题题库

当前学科：集成电路工艺原理

题目：填空题
CZ直拉法生长单晶硅是把（）变为（）并且（）的固体硅锭。
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