不可以对SiO2进行干法刻蚀所使用的气体是（）。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：单选
不可以对SiO₂进行干法刻蚀所使用的气体是（）。
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